等離子體檢測可以為樣品提供詳細的元素分析，并可確定在等離子體產生過程中所需的關鍵參數。發射線可識別等離子體中存在的元素，發射線強度用于實時量化粒子和電子密度。
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使用等離子體監測的終點檢測對于半導體材料的生產至關重要
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光纖光譜儀因其快速、無損、原位測量的特點，在半導體行業廣受青睞。海洋光學作為微型光纖光譜儀的發明者，在此領域也積累了一定的經驗。從等離子體刻蝕到晶圓膜厚測量，光纖光譜儀都有一定的應用。下面，為您帶來光纖光譜儀測量晶圓膜厚的應用解決方案。
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